[Display] 3. 소자 신뢰성

▮ 소자 신뢰성

    1) 소자의 구조 (Passivation, Gate Insulator)

    2) 외부 스트레스 (전압, 온도, 빛)

 

 

▮ 소자의 구조

    1)Passivation

       ① 반도체 층 위에 올라가는 Layer.

            ▶ 반도체 층이 외기(H₂O, O₂, H₂)에 노출되어서 트랩 사이트가 생성되어 V_th 변화를 막아주는 역할

 

        ② Passivation이 없을 때

             ▷ 반도체 층 전자 → 반도체 층 표면에서 외기와 반응 (O₂(g) + e^- ↔ O₂(s))

                  ※외기 중 O₂가 트랩 사이트로 작용

             ▷ 정공 → H₂O 반응 (H₂O(g)+h⁺ ↔ H₂O⁺(S))

 

             ▶ Passivation은 외기 영향을 차단

 

    2) Gate Insulator

        : Gate 전국과 반도체 층 사이에 깔리는 Layer. Hole Trapping 및 광 신뢰성과 연관

 

 

▮ 외부 스트레스

    1) 전압 : Gate 전압에 의해 on/off 되는 소자는 오랜 시간 전압에 노출 시 소자의 특성 변화

    2) 온도 : 소자 오랜시간 작동 시 회로의 저항 등에 의해 열 발생으로 소자의 특성 변화

    3) 빛 : 디스플레이 Transistor는 항상 빛(에너지)에 노출되어 있어 소자의 특성 변화