[Display] 2. TFT 반도체 종류

▮TFT 반도체 종류

   1) TFT(Thin Film Transistor)란?

       전자회로 구성요소로 전류의 흐름을 조절하는 밸브 역할을 하는 얇은 박막 형태의 반도체 소자

   2) OLED에서는 빛을 내는 R, G, B 픽셀의 On/Off를 제어함

 

   3) TFT 반도체 종류

       ①비정질 실리콘(a-Si)

       ②결정질 실리콘(p-Si)

       ③산화물 반도체(Oxide)

 

 

▮TFT 반도체 종류별 장점과 단점

   1) 비정질 실리콘(a-Si)

       ①비정질이란? Amorphous Silicon(a-Si), 원자 배열이 무질서한 상태

       ②장점 : 저온 공정 가능

                     소자의 균일성이 좋아 대면적화에 유리

       ③단점 : 이동도 한계 (1㎠/Vs)

                     외부 스트레스에 대한 신뢰성 낮음

       ▶ 다양한 어플리케이션 적용이 어려움

 

   2) 결정질 실리콘(p-Si)

       ①결정질이란? Poly Silicon, 다결정 실리콘

                                LTPS : a-Si을 레이저 공정을 통해 녹인 뒤 재결정화를 통해 만듦

                                            재결정화 과정에서 구역별로 결정질 형태

       ②장점 : a-Si 대비 이동도 100배 가까이 증가

                    신뢰성 좋아짐

       ③단점 : 결정 바운더리(Boundary)의 갯수를 소자마다 조절할 수 없음 → 소자별 성능 차이 발생

                     각 픽셀마다 보상회로 적용 필요 → 소자에 걸리는 전압을 균일하게 조절

                     레이저 이용한 LTPS 방식은 대면적화에 한계

 

   3) 산화물 반도체(Oxide)

       ①산화물 반도체? 반도체 위에 금속 산화물 박막을 적용

       ②장점 : 박막이 비정질 → 보상회로 x

                     대면적화

                     a-Si 대비 높은 이동도

                     낮은 공정온도

                     밴드갭이 크기 때문에 가시 광선 영역에서는 투명함